日本原子力学会 年会・大会予稿集
2012年秋の大会
セッションID: I36
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オフ角付高圧高温合成Ⅱa基板上へのCVD単結晶ダイヤモンドの合成と電荷キャリア輸送特性の評価2
佐竹 良太*宮崎 大二郎金子 純一渡邊 幸志茶谷原 昭義梅沢 仁坪内 信輝鹿田 真一磯部 光孝
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会議録・要旨集 認証あり

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抄録
ダイヤモンド放射線検出器は高い耐放射線性、耐腐食性、高温環境動作等の特長を有し、極限環境下で動作する半導体検出器として期待されている。本研究室ではDT核融合炉用プラズマイオン温度測定用14MeV中性子スペクトロメータの実用化を目指し、化学気相合成(Chemical vapor deposition:以下CVD)単結晶ダイヤモンドの合成研究を行なっている本研究においては、オフ角制御高圧高温合成Ⅱa型ダイヤモンド基板を使用し、メタン濃度4%、2%、1%で結晶合成を行いカソードルミネッセンス(CL)スペクトル測定、α線を用いた誘導電荷量分布測定ならびにμτ積の評価を行った。測定の結果、メタン濃度1%の試料の性能が最もよく、電荷収集効率は正孔:100%、電子:98%、分解能は正孔:0.7%、電子:1.1%、μτ積は正孔で1.0×10-4cm/V、電子で9.6×10-6cm/Vとなった。報告されている最良値と比較すると正孔、電子ともμτ積が1ケタ低く、不純物の低減等の対策が今後必要となる。
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© 2012 一般社団法人 日本原子力学会
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