全面吸収体4ピクセルTES型X線検出器の開発

抄録

我々は透過型電子顕微鏡に搭載するエネルギー分散型X線検出器として、超伝導転移端温度センサー(TES)型X線検出器の開発研究を展開している。本研究では、4ピクセル配置のTES型X線検出器を試作した。個々のピクセルは、TESの全面を厚さ0.5μmのAu吸収体層が覆い、TESとの間に厚さ0.1μmのTa2O5絶縁層が挿入されている。選択した2ピクセルについてX線検出特性を測定した。