一ボートによるCdTe蒸着膜の成膜過程

木更津工業高等専門学校紀要

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一ボートによるCdTe蒸着膜の成膜過程

冬木茂

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研究報告書・技術報告書フリー

1986 年 19 巻 p. 7-10

DOI https://doi.org/10.19025/bnitk.19.0_7

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抄録

一つのボートに Cd と Te を入れ,これを急加熱することによって基板上に Cd Te 膜を形成させる.このときの膜の生成過程を基板温度を室温および500℃の場合について調べた.Cd が初めに蒸発するが,つづいて蒸発する Te が基板上に凝縮したのち Cd が凝集してくることが示された.

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