オージェ電子分光法によるコバルト-ニッケル合金の定量条件の検討
1991 年 40 巻 8 号 p. T151-T155
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1991 年 40 巻 8 号 p. T151-T155
Co-Ni合金を共通試料としたオージェ電子分光法(AES)による定量分析精度の向上に関する国際共同研究を行うための共通実験条件を検討した.装置はPHI660型を使用した.Co-Ni合金のオージェピーク分離のためのカーブフィッティング法の計算にはVAMAS委員会で開発中のプログラムを使用した.表面の汚れを除去するためのアルゴンイオンの加速電圧は1kV,一次電子ビームの電圧は5kV,電流はIμA以上とし,試料の焦点合わせは3kVの弾性散乱ピーク最大位置とした.これらの測定条件では,4%以下の誤差で定量できることを明らかにした.
