R. V. Stuart: Vacuum Technology, Thin Films, and Sputtering; An Introduction, Academic Press, New York, 1983, viii+152ページ, 23.5×16cm, 6,720円.
ジャーナル
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1984 年
39 巻
5 号
p. 395-396
詳細
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発行日: 1984/05/05
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J-STAGE公開日: 2020/05/26
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