著者所属：東北大学金属材料研究所表面物性部門 東北大学金属材料研究所表面物性部門
1992 年 47 巻 1 号 p. 34-40
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顕微鏡としてまた超微細加工手法として, 最近, 注目をあびている走査トンネル顕微鏡の生命は, 探針の形状・特性にある. この探針の原子レベルでの評価・調整を容易にするために電界イオン顕微鏡を内蔵した複合型走査トンネル顕微鏡(PI-STM)が開発された. その詳細について解説し, 金属表面への応用例を紹介し, その高性能・安定性を示す.
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