抄録
新しいナノ構造形成法の試みとして, 最近, 化学的に合成されたクラスターの利用が提案され, 単電子素子をはじめとした素子応用への可能性が検討されている. このようなアプローチが対象とする材料は, 単電子素子動作の高温化に必要な「島」のサイズ範囲とされている. 数ナノメートルから数十ナノメートルの金属または半導体クラスターである. これらは, 自然界に存在する自律的, 自己組織的構造形成過程を巧に利用して創り出されるナノ構造群であり, 従来の微細加工技術では到達しにくいサイズ範囲の, 新たな微細構造形成技術として関心を集めている.
