ソリッドイマージョンレンズを用いた顕微蛍光計測法
2000 年 55 巻 10 号 p. 772-778
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2000 年 55 巻 10 号 p. 772-778
ソリッドイマージョンレンズと呼ばれる固体レンズを顕微計測と組み合わせて使用することで,光の回折限界を超えた高い空間分解能,かつ,高い検出効率での光学計測が可能となる.その利点を活かして,産業分野では高密度光記録分野などへ応用され始めている.また,物性研究の分野においても有用な高分解顕微計測法として注目され始めている.本稿では,ソリッドイマージョンレンズの原理,基本性能について,応用上重要である収差や分解能,高い蛍光検出効率を中心に説明する.また,物性研究分野への応用として,半導体ナノ構造のソリッドイマージョン顕微蛍光画像・分光計測について紹介する.
