抄録
光の検出は,物理,化学,生物学などの様々な分野において重要な研究手段である.そこでは多様な光センサが開発・応用されているが,最近,1光子に至る微弱光を正確に計測する画期的な光センサとして,電子打ち込み増倍型光センサ(EB光センサ)が注目を集めてきている.EB光センサでは,光電面から放出する電子を加速し,そのエネルギーを半導体の中で多数の電子正孔対に変換して利用するため,信号の増倍ゆらぎが極めて小さく,かつてない高分解能が得られる.本稿では,このようなEBセンサの動作原理や要素技術から,実際に開発したセンサの諸特性などを紹介する.
