化学気相堆積における成膜実験計画の自動化に関する研究

抄録

化学気相堆積プロセスの研究開発の自動化を目指し、反応装置内部において原料ガスが気相反応と表面反応を経て薄膜となる反応機構を明らかにするための実験計画を自動的に立案するアルゴリズムを開発し、その詳細を解説した。そして提案する実験計画方法の妥当性と実行可能性を、仮想的な化学気相堆積プロセスを用いた例証によって示した。