粘土膜を用いたフレキシブル耐熱透明導電フィルムの作製と評価

抄録

電子デバイスの薄膜化、フレキシブル化への要求から、柔軟な耐熱透明フィルム上への透明導電膜の作製が強く望まれている。透明導電膜の形成方法として、ITO等の導電性ナノ粒子の分散液を塗布する簡便な手法が注目されている。本発表では、耐熱性を有する透明有機化粘土膜をフレキシブル基材とし、その上にITOナノ粒子によって透明導電膜を形成したフレキシブル耐熱透明導電フィルムを作製し、その特性を評価したので報告する。