MEMS微細加工を用いたマイクロニードル作製法

抄録

半導体微細加工技術を応用展開したMEMS (Micro Electro Mechanical Systems) 技術は、大きさ数mm～数μmの微細構造体を作製できることから、圧力、加速度、流量などの物理量を計測するマイクロセンサに用いられている。本稿では、本MEMS技術を医療用マイクロニードルに展開した事例について概説する。具体的には、MEMS加工方法およびそれを用いた医療用マイクロニードルの概要について述べ、その後、Si製、金属製、ポリマー製マイクロニードルの作製方法および特徴について論ずる。また、現在、主流になりつつある生体高分子を材料とした生分解性マイクロニードルの作製事例を紹介する。