レーザ加工により作製された４５度ミラ付光導波路

抄録

ボードレベル光インターコネクションを実現するのには、４５度ミラが必要不可欠といわれている。今回我々は、フッ素化ポリイミド光導波路にエキシマレーザによって４５度ミラを形成した。ダイシングソーとは異なり必要な場所に必要なだけ４５度ミラを形成できる。光導波路を傾けてエキシマレーザで四角い穴加工を行う。このとき、レーザ加工後の処理は必要ない。ミラ面はダイシングソーで加工した面と同程度の粗さであることが分かった。反射率などは当日報告する。