マスク転写光ロッドとファイバとの光接続

抄録

　データ通信需要の増化により、「光インタコネクション技術」が注目されている。しかし、光インタコネクションに対する要求として、光デバイス、光配線間の簡易な接続法が求められる。　その実現のために、我々はフォトマスク転写法を用いた面発光レーザーの開口部への直接自己形成光導波路作製を提案し、実際に作製を行い、その光学特性を検討したので報告する。