Ｘ線を用いた高速バンプ検査手法の開発

抄録

Ｘ線を用いて微小バンプを検査する手法を開発した。Ｘ線発生量のゆらぎをリアルタイム補正する手段と、高解像度カメラを使用することで高精度化と高速化を図った。その結果、インラインで検査できる速度と精度を実現した。