US研究会提案
高強度超音波の測定を目的とした堅牢ハイドロホンの開発
2019 年 13 巻 1 号 p. 47-57
詳細
2019 年 13 巻 1 号 p. 47-57
近年，医療分野や産業分野では，高強度超音波が広く使用されるようになってきた．このような高強度の超音波音場では，音響キャビテーションの影響によりハイドロホンの電極や圧電振動子が破損するため音場の測定ができなかった．そこで，我々は，音響キャビテーションの発生を伴う高強度の超音波音場でも破損せずに測定可能な堅牢ハイドロホンを開発している．本稿では，堅牢性もあり化学的にも安定な金属であるチタン製前面板（受音板）の裏面に水熱合成PZT多結晶膜を成膜し，背板にもチタンを用いることにより音響キャビテーションの発生を伴う強力な音場でも壊れないように工夫した強力超音波測定用の堅牢ハイドロホンについて報告する．
