弾性表面波センサの基礎と応用

抄録

圧電結晶表面を伝搬する弾性表面波（SAW）は，伝搬面と接する媒質の物理的・化学的変化によりその波の速度と減衰が変わる．信号処理用SAW素子では，この変化をいかに小さくするかが重要になる．逆にセンサ応用では，この変化を積極的に利用する．SAWセンサは，気相系，液相系センサに応用可能である．また，センサ感度は用いる圧電結晶によっても異なる．そこで，本稿では弾性波センサ一般について述べた後，SAWセンサの原理について，その考え方と摂動法により導出された摂動解を示した．次に，代表的な計測方法について説明し，実際の測定例として，ガスセンサ，液体計測，免疫反応計測などについて紹介した．