EPMAの分析精度に対する加速電圧の影響

抄録

EPMAでは,検量線を作成するか,補正計算を行うことにより,定量分析が可能となる。分析対象が天然の鉱物の場合には,その組成が複雑なため,あるいは検量線を作成することのできる標準物質を得ることが困難なために,単純な組成の標準試料を用いて得られたX線強度をもとに,補正計算により定量分析がなされる。