EPMAの検出限界

抄録

　EPMAの最大の特徴は微小部分の分析であり,微量成分の検出感度・分析精度はとくに良好とは云えない。また機種・分光結晶の選択その他の条件により,その感度・精度はことなる。ここでは微小部の分析という点との関連もあり,微量の検出感度と位置的な分解能ともいうべき粒界部の微量の検出の両者を考えることとする。