電気学会論文誌A(基礎・材料・共通部門誌)
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
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研究開発レター
撥液性離型膜によって作製したシリコンモノライク結晶
松井 光彦
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2015 年 135 巻 3 号 p. 189-190

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抄録
To provide a method for manufacturing of a silicon mono-like crystal without using a seed crystal, a repellent film is tried to use as a mold releasing film. The molten silicon is solidified into a single direction. The orientation of the silicon crystal manufactured by using the repellent film are aligned almost in the same direction. It is found that the repellent mold releasing film is effective for manufacturing of the silicon mono-like crystal.
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© 2015 電気学会
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