日立製作所日立研究所
日立製作所生産技術研究所
1977 年 97 巻 9 号 p. 465-471
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電氣學會雜誌
電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
電気学会論文誌Ｄ（産業応用部門誌）
電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）
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