水素化アモルファスシリコン薄膜内部の構造不均質性の評価法

電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）

Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205

水素化アモルファスシリコン薄膜内部の構造不均質性の評価法

本間和明, 本橋光也, 安達久美

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キーワード: 水素化アモルファスシリコン薄膜, 構造不均質性, 微結晶化温度, 水素放出特性

ジャーナルフリー

1990 年 110 巻 9 号 p. 649-650

DOI https://doi.org/10.1541/ieejfms1990.110.9_649

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