電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205
レーザ顕微鏡によるICの動作観察
大出 孝博
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キーワード: レーザ顕微鏡, p-n接合, 空乏層, 光励起電流
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1992 年 112 巻 10 号 p. 819-826

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