真空中での放電現象

電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）

Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205

真空中での放電現象

放電機構とその利用

細川辰三, 湯本雅恵

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キーワード: 真空, 放電開始, 電子放出, 表面, 遮断器, トリガギャップ, 真空マイクロエレクトロニクス, イオン源, 加速器

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1994 年 114 巻 2 号 p. 77-83

DOI https://doi.org/10.1541/ieejfms1990.114.2_77

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