最近の真空放電研究の進歩

電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）

Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205

最近の真空放電研究の進歩

細川辰三

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キーワード: 真空, 放電開始, 放電抑制, プラズマプロセス, 遮断器•開閉器, 遮断器•開閉器真空マイクロエレクトロニクス, 加速器

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1996 年 116 巻 11 号 p. 907-911

DOI https://doi.org/10.1541/ieejfms1990.116.11_907

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