電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205
窒素-アルゴン混合ガスプラズマジェットによる窒化ホウ素薄膜の生成
高倉 靖, 小野 茂, 堤井 信力
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キーワード: 窒化ホウ素, プラズマジェット
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1996 年 116 巻 6 号 p. 566-567

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