Surface Characterization of TiN Prepared by Plasma Source Ion Implantation

電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）

Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205

プラズマソースイオン注入法によるTiN相の作製とその特性評価

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ジャーナルフリー

1997 年 117 巻 8 号 p. 891-892

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