電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205
パルスレーザーデポジション法によって製作した薄膜の膜厚に対する酸素圧力の影響
門中 利昭, 井上 成美, 柏原 茂, 藤本 良三
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キーワード: パルスレーザーデポジション, レーザーアブレーション, 薄膜, 膜厚分布
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1999 年 119 巻 5 号 p. 593-598

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