電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205
カーボンシャンティングアークの発生とDLC生成
門口 敏秀, 磯野 僚多, 吉岡 健司, 行村 建, 政宗 貞男
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キーワード: シャンティングアーク放電, 非金属イオン源, DＬC簿膜
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1999 年 119 巻 5 号 p. 609-614

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