電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205
LaCrO3薄膜高温発熱体の作製と評価
祖父江 聡, 吉岡 伸, 吉門 進三
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キーワード: 電力熱変換, 高温発熱体, RFマグネトロンスパッタ
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1999 年 119 巻 5 号 p. 636-641

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