電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）
Online ISSN : 1347-5533
Print ISSN : 0385-4205
ISSN-L : 0385-4205
誘導結合型RF放電プラズマにおける電子密度ヒステリシス特性の磁界による制御
松浦 稔, 鈴木 高之, 小越 澄雄
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キーワード: 誘導結合型RF放電, 電子密度のヒステリシス特性, 電子密度ジャンプ, 磁界制御
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2000 年 120 巻 8-9 号 p. 845-846

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