電気学会論文誌Ｄ（産業応用部門誌）
Online ISSN : 1348-8163
Print ISSN : 0913-6339
ISSN-L : 0913-6339
α-Si: Hグロー放電膜のタイムオブフライト測定による評価
モノシラン膜とジシラン膜の比較
白藤 純嗣, 服部 励治, 白川 千洋
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1988 年 108 巻 2 号 p. 110-116

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