微動ステージに対する運動モードに基づく改良型加速度フィードバックを有する位置決め

電気学会論文誌Ｄ（産業応用部門誌）

Online ISSN : 1348-8163
Print ISSN : 0913-6339
ISSN-L : 0913-6339

微動ステージに対する運動モードに基づく改良型加速度フィードバックを有する位置決め

涌井伸二

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キーワード: 微動ステージ, 運動モード, 加速度フィードバック, 粘性

ジャーナルフリー

1996 年 116 巻 3 号 p. 367-368

DOI https://doi.org/10.1541/ieejias.116.367

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