電子技術総合研究所
東京工業大学
三菱電機
日本電信電話公社横須賀電気通信研究所
東京芝浦電気
日立製作所
日本電気
富士通
1982 年 102 巻 10 号 p. 917-930
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電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
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