横浜国立大学
金属材料技術研究所
日本電信電話株式会社
電子技術総合研究所
電力中央研究所
1988 年 108 巻 5 号 p. 417-427
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電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
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