日立製作所日立研究所
日立製作所日立研究所 日立製作所日立研究所第2部
1967 年 87 巻 949 号 p. 2009-2016
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電気学会論文誌Ｅ（センサ・マイクロマシン部門誌）
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電気学会論文誌Ａ（基礎・材料・共通部門誌）
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