日本画像学会誌
Online ISSN : 1880-4675
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原著論文
DCプラズマCVDによるa-Si感光ドラムの開発
中村 隆, 大久保 大五郎, 川上 哲哉, 笹原 正光
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2006 年 45 巻 5 号 p. 429-432

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抄録
a-Si感光ドラムの成膜方法として一般的に使用されている13.56MHzの高周波プラズマに替えて，DCプラズマを使用するCVD法を開発した．この新しい成膜方法により，従来の2倍以上の成膜速度が得られ，また，成膜中の粉体発生を極少にすることが出来，さらに感光ドラムの特性ムラを大幅に改善することができた．これらの改善により，生産コストを低く抑えることが可能になり，今後需要が見込まれる小径タンデムカラー機への搭載が容易になった．
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© 2006 一般社団法人 日本画像学会
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