スパッタ

抄録

スパッタは10年ほど前までは入射イオンの局部加熱による蒸発と考えられていたが, ここ10年間に弾性衝突による運動量転移説が実験的にも理論的にも確められてきた.しかし単純な二体衝突理論では限界エネルギの説明がつかず, 一方限界エネルギの実測値も測定精度の向上とともに低くなりつつある。高エネルギイオンによるスパッタでは運動量転位説はまだ全然成功をおさめていない.終りに実用的見地からグロー放電のスパッタにふれている.