マイクロ波GaAs IC

テレビジョン学会誌

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マイクロ波GaAs IC

高山洋一郎

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ジャーナルフリー

1985 年 39 巻 2 号 p. 142-149

DOI https://doi.org/10.3169/itej1978.39.142

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抄録

マイクロ波GaAs FET技術の成熟化に伴う必然的な技術の流れとして, GaAsモノリシックマイクロ波IC (MMIC) の研究開発が活発化し, 実用化が始まろうとしている.種々の特徴を有するGaAs MMICの技術動向を概観するため, その構成および製造プロセスについて基本的な技術を解説し, 最近の実例を紹介する.

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