抄録
アモルファスシリコン薄膜トランジスタを用いた対角9.5インチ, 画素数480 (垂直方向) ×640 (水平方向) のアクティブマトリックス型カラー液晶ディスプレイを試作し, 良好な2値8色表示を実現した.これは, α-Si膜, ゲート絶縁膜厚の均一化により表示画面全域にわたって均一なトランジスタ特性を実現したこと, またゲートパターンのテーパ加工, および配線交差部にα-Si層を残した構造的な改良を加えることにより, 線欠陥表示の原因となるアドレス線とデータ線の電気的短絡をなくすことで実現した.また, 表示画面の大型化, 高精細化に伴なうアドレス線の抵抗・容量増大の影響を, 回路シミュレータSPICEにより詳細に検討し, その結果に基づきアドレス配線抵抗値の低減を行い, アドレス線にそった不均一な輝度むらを解決した.
