真空マイクロエレクトロニクス

抄録

微小な真空管技術と半導体技術が組合された「真空マイクロエレクトロニクス」では, 負性電子親和力特性を有する冷陰極材料や新しい薄膜冷陰極の開発が活発になってきている。また, 冷陰極の応用についても, 当初のディスプレイに加えて, 撮像素子などさまざまな新しいデバイスの試作が進められてきており, 研究の幅が一段と広がってきているように思われる。本稿では, 特にこうした最近の話題を中心に, その研究展開を概説する.