[19.4]Low Temperature PECVD a-Si:H TFT for Plastic Substrates(【興味深かった発表】)(Society for Information Display 2000 Report)

映像情報メディア学会技術報告

Online ISSN : 2424-1970
Print ISSN : 1342-6893
ISSN-L : 1342-6893

24.42

セッションID: IDY2000-135

DOI https://doi.org/10.11485/itetr.24.42.0_27_2

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[19.4]Low Temperature PECVD a-Si:H TFT for Plastic Substrates(【興味深かった発表】)(Society for Information Display 2000 Report)

S. He, N. Nishiki, J. Hartzell, Y. Nakata

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