映像情報メディア学会技術報告
Online ISSN : 2424-1970
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セッションID: MMS2001-28
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書換え形2層ディスク用高速相変化材料
児島 理恵秋山 哲也宇野 真由美北浦 英樹鳴海 建治西内 健一山田 昇
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抄録

優れた高速結晶化特性を有する新規な相変化材料として、従来のGe-Sb-TeにSnを添加したGe-Sn-Sb-Te膜を開発した。この薄膜は、膜厚を5nmにまで薄くしても、50ns以下のレーザ照射で結晶化する。Ge-Sn-Sb-Te膜(6nm)を第1のメモリ層、Ge-Sb-Te(12nm)を第2のメモリ層に適用し、青紫光源(λ:405nm、NA:0.65)を用いて容量27GBと記録データ速度33Mbpsの仕様で、2層ディスクを試作し、いずれのメモリ層でも50dB以上のC/Nと30dB以上の消去率が得られた。この際、第1および第2のメモリ層への記録パワーは、それぞれ8mWと11mWで、実用的な値であった。

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© 2001 一般社団法人 映像情報メディア学会
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