低温poly-Si製容量型指紋センサ

抄録

低温poly-Si TFTを用いて容量型指紋センサを開発し、指紋認証試験を行い良好な結果を得た。センサ面積は20mmx15mmである。1センサーセルあたりに1つのトランジスタと1つのセンサープレートを用いる構造を取る。低温poly-Si TFTの閾値が大きいことを利用することで、選択したセル以外にリーク電流が流れるのを防ぎ、ダイナミックレンジを高めている。この方式により423dpi(60μmピッチ)という高解像度を実現した。