非接触LSIピン電流探査手法の開発

抄録

LSIのピンを流れる高周波電流を計測するために,非接触で測定した近傍磁界分布から,電流分布を探査する手法を検討した。本稿では,測定した近傍磁界分布と仮定した電流による磁界分布パターンのマッチング具合から電流を探査する手法に基づき,さらにリードフレームのレイアウト・データによるフィルタリングと,探査した電流による磁界分布と測定した磁界分布の差が最小になるまで繰り返す手法を提案した。これにより,位置分解能を0.5mmまで向上させ,LSIのピン毎の電流を非接触で測定出来る見通しを得た。