IMID/IDRC2008報告会(1)IMID : TFT Technologies(IMID/IDRC 2008報告会)

抄録

IMID 2008のTFT技術のうちフレキシブル基板上のTFTと有機TFTを除く技術に関し報告する。今年のキーワードは"信頼性"である。ポリシリコンTFTでは微細化・高集積化に伴う信頼性が報告された。AM-OLEDでは有機EL材料の信頼性とそれを駆動するためのTFT(アモルファスシリコンTFTや酸化物TFT)の信頼性が取り上げられている。今年のIMIDでは、酸化物TFTでの信頼性が広く論じられるようになった点が特筆される。