集積化MEMSとバイオメディカルMEMS(アナログ,アナデジ混載,RF及びセンサインタフェース回路)
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回路を一体化した集積化MEMSには,容量検出回路を集積化した容量型センサ,また多数アレイ化したMEMSの配線線を減らすためのものが主に用いられている.今後必要となる無線関係で寄生インダクタンスなどを減らすための集積化MEMSが期待されている.圧力,加速度,力などの機械量センサ,また能動カテーテルを動かすアクチュエータの制御や超音波イメージャのトランスジューサの駆動のようなバイオメディカル用途,さらに今後のマルチバンド用MEMSフィルタを搭載した無線チップなどの集積化MEMSを紹介する.
