300mmウエハサイズCMOSイメージセンサ(固体撮像技術および一般)

小黒 康裕; 高橋 秀和; 山下 雄一郎; 菊池 伸; 藤田 雅人; 平山 聡; 加納 大幹; 橋本 栄; 門間 玄三; 井上 俊輔

doi:10.11485/itetr.35.17.0_19

セッションID: IST2011-14/CE2011-20

DOI https://doi.org/10.11485/itetr.35.17.0_19

会議情報

300mmウエハサイズCMOSイメージセンサ(固体撮像技術および一般)

小黒康裕, 高橋秀和, 山下雄一郎, 菊池伸, 藤田雅人, 平山聡, 加納大幹, 橋本栄, 門間玄三, 井上俊輔

著者情報

小黒康裕
キヤノン株式会社デバイス開発本部
高橋秀和
キヤノン株式会社デバイス開発本部
山下雄一郎
キヤノン株式会社デバイス開発本部
菊池伸
キヤノン株式会社デバイス開発本部
藤田雅人
キヤノン株式会社デバイス開発本部
平山聡
キヤノン株式会社デバイス開発本部
加納大幹
キヤノン株式会社デバイス開発本部
橋本栄
キヤノン株式会社デバイス開発本部
門間玄三
キヤノン株式会社デバイス開発本部
井上俊輔
キヤノン株式会社デバイス開発本部

キーワード: CMOSイメージセンサ, ウエハサイズ, 高感度

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抄録

0.25μm 1P3M CMOSプロセスを用いて,300mmシリコンウエハに202mm×205mmのCMOSイメージセンサを開発した.画素サイズ:160μm^2,画素数:160万画素であり,画素内電圧ゲインアンプ,列差動読み出し回路を搭載している.これにより,高感度(25Me^-/lx/s),低ノイズ(13e^-rms)を実現しており,低輝度でも鮮明な画像を撮ることができる.本報告では,300mmウエハサイズCMOSイメージセンサの概要およびセンサ性能について述べる.

責任著者(Corresponding author)

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