バースト10MfPsと連続10Kfpsの撮像速度を有する高速CMOSイメージセンサのプロトタイプ試作評価(固体撮像技術および一般)

須川 成利; 栃木 靖久; 半澤 克彦; 加藤 祐理; 赤羽 奈々; 黒田 理人

doi:10.11485/itetr.35.17.0_27

セッションID: IST2011-16/CE2011-22

DOI https://doi.org/10.11485/itetr.35.17.0_27

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バースト10MfPsと連続10Kfpsの撮像速度を有する高速CMOSイメージセンサのプロトタイプ試作評価(固体撮像技術および一般)

須川成利, 栃木靖久, 半澤克彦, 加藤祐理, 赤羽奈々, 黒田理人

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キーワード: 高速CMOSイメージセンサ, バースト撮像, 連続撮像

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抄録

主に先端技術開発分野や科学計測分野において使用される画素数10万画素程度を有し最大10Mfps超の100コマ以上のバースト撮像(コマ撮り)と10Kfps超の連続撮像を冷却無しにワンチップで行える高速度撮像CMOSイメージセンサの実現を目指し,原理フィジビリティ確認用のプロトタイプイメージセンサ(画素ピッチ48μm,画素数72^H×32^V)を設計・試作しその性能を実験・評価した結果について論じる.

責任著者(Corresponding author)

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