抄録
複数蓄積駆動を用いた低ノイズかつ高ダイナミックレンジなグローバルシャッター CMOSイメージセンサを開発した.画素ピッチ 6.4μmにおいて, 1.8e-のテンポラルノイズと 70,000e-の飽和信号により, 92dBのダイナミックレンジを達成した.さらに基本性能を維持したまま,画素ピッチ 3.4μm において, 1.8e-のテンポラルノイズと 16,000e-の飽和信号を達成した.この駆動では,読み出し期間中に露光を同時に行うことが可能であるため,欠落のないシームレスな信号電荷の蓄積を実現することができる.